Особенности продукта
1. Нержавеющая сталь вакуумной камеры;
2. Сверхнизкая температура - Температура всего 40 градусов;
3. Всенаправленная очистка поверхности - Различные виды плазмы могут попадать в сверхтонкую щель для очистки;
4. Охрана окружающей среды -Никакие вредные вещества не производятся до и после обработки и держатся вдали от вредных для организма человека растворителей;
5. Стабильность -Непрерывность и постоянство для поддержания устойчивости машин и оборудования в процессе эксплуатации;
6. Очистка -Удаление пыли и масла, тонкая очистка и статическое электричество;
7. Возбуждение -Улучшите адгезионную способность поверхности и значительно увеличьте поверхностную энергию объекта;
8. Зачистка пластин - Зачистка пластин AF/AS.
технические характеристики
|
Конфигурация функции |
Технический параметр |
|||
|
Модель |
ВП-60Л |
ВП-80Л |
ВП-100Л |
ВП-150Л |
|
Размеры (мм) |
L=1200; W=920; H=1690 |
|||
|
Вакуумная камера размеры (мм) |
L=403; W=400;H=403 |
L=450; W=400;H=450 |
L=470; W=460;H=470 |
L=500; W=600;H=500 |
|
Вакуумная камера материал |
Нержавеющая сталь |
|||
|
Электродная пластина размеры (мм) |
319(L)×374(W) |
320(L)×420(W) |
380(L)×440(W) |
520(L)×470(W) |
|
Электродная пластина материал |
Специальный алюминиевый электрод |
|||
|
Вес (кг) |
560 |
580 |
630 |
680 |
|
Контроль |
ПЛК+ сенсорный экран |
|||
|
Электродная пластина структура |
Горизонтальные 8 слоев |
|||
|
Система вакуумного насоса |
Двухступенчатый-роторный пластинчатый вакуумный насос/вакуумный насос Рутса |
|||
|
Вакуум измерение система |
Вакуумметр сопротивления Пилани |
|||
|
Измерение газа система |
Высокоточный массовый расходомер |
|||
|
Генератор плазмы |
Высокоточный плазменный генератор мощностью 0–500 Вт. |
Высокая точность 0-1000W плазменный генератор |
||
|
Плазменный согласующий блок |
Высокоточный автоматический блок согласования мощностью 0–500 Вт. |
Высокая точность 0-1000W автоматическое сопоставление единица |
||
|
Рабочий вакуум |
10-100 Па |
|||
|
Предельное давление вакуумный насос |
5×10-1 Па |
|||
|
Время достижения время вакуума |
Меньше или равно 55 |
Меньше или равно 70 |
Меньше или равно 80 |
Меньше или равно 100 |
|
Время выпускать время вакуума |
Меньше или равно 15 |
Меньше или равно 20 |
Меньше или равно 25 |
Меньше или равно 30 |
|
Диапазон регулирования газа (сккм) |
Массовый расход 0–300 (опция) |
Массовый расход 0–500 (необязательно) |
||
|
Радиочастота источник питания (Вт) |
0-500 (Регулируемый диапазон) |
0-1000 (регулируется в диапазоне) |
||
|
Режим работы |
Ручной, один ключевой автоматический режим работы |
|||
|
Источник питания |
Трехфазный 380 В |
|||
|
Номинальная мощность (кВт) |
4 |
|||
горячая этикетка : Система плазменной обработки серии VP,Система плазменной обработки серии VP