Особенности продукта
Поддержка нескольких версий (ПЛК/ПК) и различных основных протоколов связи;
Проектирование и производство выполняются в соответствии со стандартом безопасности производства SEMI;
Высокая проектная емкость канала, UPH400~550 шт.;
Подходит для продуктов разных размеров и магазинов;
Запатентованная конструкция уровня пластины MFC, предотвращающая возникновение аварийных ситуаций из-за утечки газа (поддержка газов высокого-риска, таких как водород);
Запатентованная конструкция камеры высокого уплотнения, до 5 Па;
Угол контакта с водой<10° (related to the material of product surface);
Конструкция четырех каналов для одновременной обработки 4 продуктов, с двойными нижними электродами, сокращает время входа и выхода платы, значительно повышает эффективность и обеспечивает однородность продукта при обработке.
технические характеристики
|
Функциональная конфигурация |
Технические параметры |
|
|
Д×Ш×В(мм) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Оборудование |
Вес нетто (кг) |
1000 |
|
Периферийный зазор (мм) |
600 сзади, 600 с обеих сторон |
|
|
Камера |
Объем (л) |
Около 9 |
|
Канал(номера) |
4 |
|
|
Нижний электрод(шт.) |
2 (функция перехода) |
|
|
Режим кормления |
Журнал |
|
|
Адаптивный размер продукта (мм) |
Ширина: 40-100 Длина: 150-300 |
|
|
Электрод |
Размер электрода (мм) |
528×300 |
|
ВЧ источник питания |
Стандартная мощность (кВт) |
1 |
|
Частота (МГЦ) |
13.56 |
|
|
Газ-контроль |
До трех каналов |
2 канала (стандарт), 3 канала (опционально) |
|
Система управления |
Человеко--машинный интерфейс |
ПК+сенсорный экран |
|
Удаленный интерфейс |
Коммуникация |
Необязательный |
|
Вакуумный насос |
Дополнительный сухой насос |
17 кубических футов в минуту |
|
Дополнительный масляный насос |
195 кубических футов в минуту |
|
|
Опциональный сухой насос с функцией продувки |
ДА |
|
|
Скорость потока продувки азотом (SLM) |
2 |
|
|
Время вакуумирования (с) |
10月15日 |
|
|
Время разрушения вакуума (с) |
3-4 |
|
|
Заводские мощности |
Источник питания |
Трех-фаза 380 В, 50/60 Гц, 4,5 кВт (масляный насос) |
|
Размер и тип процесса |
1/4 дюйма Swagelok |
|
|
Чистота технологического газа |
Промышленный класс и выше |
|
|
Давление технологического газа (фунты на квадратный дюйм) |
10-20 |
|
|
Размер и тип продувочного газопровода |
1/4 дюйма Swagelok |
|
|
Очистка чистоты газа |
Промышленный класс и выше |
|
|
Давление продувочного газа (фунты на квадратный дюйм) |
15 |
|
|
Размер и тип пневматики |
Нажимной элемент на 10 мм-в фитинге |
|
|
Чистота пневмогаза |
Сжатый воздух,-без масла, точка росы менее или равна 7 градусам, частицы<5 |
|
|
Давление пневматического газа (фунты на квадратный дюйм) |
70-90 |
|
|
Сжатый воздух (мм) |
∅8 |
|
|
Согласие |
Сертификация |
ПОЛУ |
|
Вспомогательное оборудование |
Генератор азота (опционально) |
Опционально для продувки азотом |
|
Кулер для воды (опционально) |
Опционально для охлаждения электродов |
|
|
Водородный комплект (опционально) |
Опционально для обработки водородом |
|
|
Процессор выхлопных газов (опция) |
Опционально для очистки выхлопных газов фтором |
|
|
Транспорт |
Общий вес (кг) |
1050 |
|
Количество упаковок |
1 |
|
|
Упаковка соответствует стандарту SPM15. |
ДА |
|
горячая этикетка : Автоматическая вакуумно-плазменная система обработки ВП-10С, Автоматическая вакуумно-плазменная система обработки ВП-10С